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礦石內部的晶體結構與微觀結構分析光學顯微鏡

信息分類:生命科學資訊  日期: 2013-10-4 14:11:25  作者:YIYI發布 

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礦石內部的晶體結構與微觀結構分析光學顯微鏡

TiO2 鍍膜的晶體結構與微觀組織分析
為不同沉積時間所得 TiO2 鍍膜之 XRD 繞射
圖形及截面形態,由 XRD 繞射圖中可看出當沉積時
間為 15 min 時,由于沉積時間較短、基材溫度較低,
以致所得之晶體結構為金紅石結構。隨著沉積時間的
延長,銳鈦礦相的繞射鋒強度逐漸增加,當沉積時間
達 30 min 時,TiO2 鍍膜開始具有最大的銳鈦礦相(101)
繞射鋒強度,同時銳鈦礦相(004)繞射鋒亦明顯增強。
由此可以看出 TiO2 鍍膜成長機制乃優先成長為金紅
石相,接著成長銳鈦礦相。由 TiO2 鍍膜之截面形態得
知,隨著沉積時間增加,鍍膜厚度逐漸增厚,鍍膜并
且從初期無特定形貌之外觀轉為較細致之柱狀晶,最
終轉變為較粗之柱狀組織。此乃鍍膜成長過程中,受
鈦離子持續轟擊而使堆積原子獲得蠕動排列的機會,
而發展成更完整的晶型。沉積時間 60 min 后所得之
TiO2 鍍膜厚度可達 5 μm,換算其成長速率約為 5
μm/h,明顯高出眾多的 PVD 制程
本文由出自上海光學儀器廠,轉載請注明
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